真空技術についてのQ&A

Question

真空蒸着で、薄膜の品質を向上させる方法は?

あるばっくん

Answer

薄膜の品質を左右する因子には、真空の質、操作圧力、排気プロセス成膜速度、蒸発源の種類、基板表面状態、基板温度、蒸発材料の純度などがあり、これらをうまく調整することで、品質を向上させることができます。