大気圧から極高真空まで ULVACグループの真空ポンプ

真空ポンプ一覧表

真空ポンプ一覧表

油回転真空ポンプ

アルバック機工株式会社 
株式会社アルバック

油回転真空ポンプ

機械的ポンプのひとつであり、経済性、操作性に優れたポンプです


メカニカルブースターポンプ

アルバック機工株式会社 
株式会社アルバック

メカニカルブースターポンプ

油回転真空ポンプなどの粗挽きポンプとの組合せによって…


ドライポンプ

株式会社アルバック

ドライポンプ

油や液体を真空室内に使用しない機械式の真空ポンプです。


ダイアフラム真空ポンプ

アルバック機工株式会社

ダイアフラム真空ポンプ

ダイアフラムの往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。


ターボ分子ポンプ

株式会社アルバック

ターボ分子ポンプ

タービン型の翼をもつロータ(動翼)およびステータ(固定翼)からなる分子ポンプです


エジェクタ(真空)ポンプ

株式会社アルバック

エジェクタ(真空)ポンプ

拡散ポンプのような蒸気(スチーム)を噴射する仕組みの真空ポンプです。


油拡散ポンプ

株式会社アルバック

油拡散ポンプ

排気すべき気体が分子流領域にあるとき最も有効に作動するポンプです。



ソープションポンプ

株式会社アルバック

ソープションポンプ

クライオポンプのように低温による気体の凝縮を利用するポンプです。



チタンサブリメーションポンプ

株式会社アルバック

チタンサブリメーションポンプ

チタンを用いて排気を行い超高真空を生成することのできる真空ポンプです。


スパッタイオンポンプ

株式会社アルバック

スパッタイオンポンプ

超高真空の発生に利用される代表的なポンプの一つです。


クライオポンプ

アルバック・クライオ株式会社

クライオポンプ

他の真空ポンプに比べ排気速度が大きいことが注目されているポンプです

真空ポンプの基礎知識