Answer

主ポンプと言われる油拡散ポンプやターボ分子ポンプなどは、大気圧から圧縮排気できない場合に補助ポンを必要とするのですが、この補助ポンプで主ポンプが作動可能な圧力まで排気することを粗引きといいます。
粗引き完了後、主ポンプで更に排気する状態を本引きといいます。