メカニカルブースターポンプとは?

他ポンプと組み合わせて力を発揮

メカニカルブースターポンプは排気速度を飛躍的に増大させる働きをもったポンプです。油回転真空ポンプ、ドライポンプ、などの粗引きポンプと組み合わせることにより、粗引きポンプの排気速度が落ち込む圧力領域において、その排気速度を大幅にアップさせることができます。


   半導体プロセス、真空蒸留、真空包装、脱ガス、薄膜、真空冶金、 低密度風洞実験、宇宙開発、真空含浸、真空乾燥 など

メカニカルブースターポンプ イメージ

メカニカルブースターポンプの特徴

別のポンプと組み合わせて幅広く利用されている

このポンプは、油回転真空ポンプやドライポンプとの組み合わせで使用する事により排気速度の大幅アップと到達圧力を低くする事を目的としてよく利用されます。


長所 短所

10KPa〜0.1Paにおいて排気速度を飛躍的に増大

逆流がある



メカニカルブースターポンプの仕組み

2つの繭が気体を押し出す

ケーシング内にある2個のマユ型ロータが、その軸端の駆動ギアに入り互いに反対方向に同期回転するようになっています。吸気口から入った気体はケーシングとロータ間の空間に閉じ込められ、ロータの回転で排気口側に排出され、後段の補助ポンプで大気中に放出されます。

メカニカルブースターポンプの仕組み イメージ
メカニカルブースターポンプ